蒸發(fā)臺坩堝是鍍膜工藝中承載蒸發(fā)材料的核心部件,其材質(zhì)與結(jié)構(gòu)適配性直接影響蒸發(fā)效率、薄膜純度及工藝穩(wěn)定性,適配金屬、氧化物、化合物等各類鍍膜蒸發(fā)材料。挑選時(shí)需以蒸發(fā)材料的物理化學(xué)特性為核心依據(jù),結(jié)合鍍膜溫度、真空環(huán)境等工藝條件綜合考量,讓蒸發(fā)臺坩堝與材料、設(shè)備形成適配,為高質(zhì)量鍍膜效果提供支撐。
依據(jù)蒸發(fā)材料熔點(diǎn)挑選蒸發(fā)臺坩堝。針對高熔點(diǎn)金屬(如鎢、鉬),需選用熔點(diǎn)更高的氮化硼、鉭材質(zhì)坩堝,抵御高溫下的形變與損耗,避免坩堝與材料發(fā)生熔融反應(yīng);對于低熔點(diǎn)材料(如鋁、鋅),可選用石英、陶瓷材質(zhì)坩堝,兼顧適配性與使用成本,減少不必要的資源消耗。
結(jié)合材料化學(xué)特性篩選蒸發(fā)臺坩堝。若蒸發(fā)材料為活性較強(qiáng)的氧化物、氟化物,需避開易發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的材質(zhì),優(yōu)先選用高純氧化鋁坩堝,規(guī)避材料被污染或坩堝腐蝕破損的問題;對于貴金屬材料,可選用石墨坩堝,其良好的熱傳導(dǎo)性能助力材料均勻氣化,維持鍍膜一致性。
參考鍍膜規(guī)模與工藝需求挑選。批量鍍膜場景可選用大容量一體成型坩堝,減少頻繁加料帶來的停機(jī)損耗;精密鍍膜則需關(guān)注坩堝結(jié)構(gòu),選用內(nèi)壁光滑、無雜質(zhì)析出的蒸發(fā)臺坩堝,避免殘留雜質(zhì)影響薄膜品質(zhì),同時(shí)適配設(shè)備的安裝尺寸與加熱方式,確保工藝順暢推進(jìn)。
