蒸發(fā)臺配件中密封類配件都有哪些

蒸發(fā)臺配件中密封類配件是維系設(shè)備真空環(huán)境的核心組件，直接關(guān)系蒸鍍工藝的穩(wěn)定性與薄膜沉積質(zhì)量，廣泛適配半導(dǎo)體、光學(xué)器件、光伏等領(lǐng)域的真空蒸鍍設(shè)備。這類配件需耐受高溫、耐腐蝕且具備優(yōu)良密封性能，覆蓋腔體銜接、管路接口、部件間隙等全密封場景，是蒸發(fā)臺配件中不可或缺的功能品類，其適配性直接影響設(shè)備運行效率與鍍膜良率。

密封圈是應(yīng)用最廣泛的密封類蒸發(fā)臺配件。按材質(zhì)可分為氟橡膠密封圈、硅橡膠密封圈、金屬密封圈等，氟橡膠款適配高溫、強(qiáng)腐蝕工況，硅橡膠款適配中低溫真空場景，金屬密封圈則用于超高真空腔體銜接，通過壓縮形變填充接口間隙，阻擋氣體滲透，適配蒸發(fā)臺腔體與蓋板、管路與閥門的密封需求。

密封法蘭與密封膠也屬于核心密封類蒸發(fā)臺配件。密封法蘭搭配密封圈使用，用于大口徑接口的密封銜接，比如蒸發(fā)臺腔體與觀測窗、進(jìn)料口的連接，其結(jié)構(gòu)設(shè)計需匹配接口尺寸，確保受力均勻以提升密封效果；密封膠多為高溫真空專用款，用于填補配件縫隙、修復(fù)輕微密封缺陷，適配非承重部位的輔助密封。

此外，密封閥作為功能性密封配件，兼具通斷控制與密封作用。這類配件通過閥芯與閥座的緊密貼合實現(xiàn)密封，可合理控制工藝氣體管路的通斷，同時阻止真空環(huán)境被破壞，適配蒸發(fā)臺氣體供給系統(tǒng)的密封需求，是蒸發(fā)臺配件中兼顧功能與密封性能的重要部件。