注入機(jī)離子源配件中鎢離子注入件的特點(diǎn)

注入機(jī)離子源配件中鎢離子注入件，是適配離子注入工藝嚴(yán)苛環(huán)境的核心功能部件，憑借鎢材質(zhì)優(yōu)異的物理化學(xué)特性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓摻雜環(huán)節(jié)。這類部件多以高純度鎢或鎢錸合金為原料，適配注入機(jī)離子源真空、高溫、強(qiáng)離子轟擊的工作場景，其性能直接影響離子束發(fā)射強(qiáng)度與穩(wěn)定性，是注入機(jī)離子源配件中支撐高精度摻雜工藝的關(guān)鍵品類。

耐高溫與熱穩(wěn)定性突出是核心特點(diǎn)。鎢材質(zhì)熔點(diǎn)高達(dá)3410℃，可在真空環(huán)境下耐受2600℃高溫，能抵御離子源放電過程中產(chǎn)生的極端熱量，避免高溫形變或損耗，延長注入機(jī)離子源配件的使用壽命，適配長時間連續(xù)生產(chǎn)需求。

抗離子轟擊與機(jī)械強(qiáng)度優(yōu)異。鎢具備高密度、高硬度特性，能承受高能離子撞擊而不易碎裂，同時低蒸氣壓特性可減少高溫下的物質(zhì)揮發(fā)，避免污染離子束與晶圓，維持摻雜過程的穩(wěn)定性，是注入機(jī)離子源配件中適配強(qiáng)轟擊場景的優(yōu)選部件。

化學(xué)穩(wěn)定性與可優(yōu)化性強(qiáng)。純鎢對酸堿及活性氣體耐腐蝕，不易發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；通過摻雜錸、鉀等元素制成合金件，還能降低電子逸出功、提升塑性，適配不同制程摻雜需求。這類特性讓其成為注入機(jī)離子源配件中兼具可靠性與適配性的重要品類，助力半導(dǎo)體工藝升級。