半導(dǎo)體設(shè)備配件中機(jī)械類的配件有哪些

半導(dǎo)體設(shè)備配件中機(jī)械類配件是設(shè)備運(yùn)行的核心結(jié)構(gòu)支撐，覆蓋晶圓制造、刻蝕、薄膜沉積等全工藝環(huán)節(jié)，憑借穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)性能與適配能力，適配光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、蒸發(fā)臺等各類半導(dǎo)體設(shè)備。這類半導(dǎo)體設(shè)備配件品類繁多、功能針對性強(qiáng)，既包含傳動(dòng)、密封等基礎(chǔ)部件，也涵蓋高精度運(yùn)動(dòng)組件，其品質(zhì)與適配性直接影響設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性及芯片加工效果，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控進(jìn)程中的重要組成部分。

真空系統(tǒng)機(jī)械配件是核心品類之一。常見的有真空閥門、CF/KF法蘭及金屬密封圈，真空閥門用于控制管路通斷與氣體流量，法蘭與密封圈則維持腔體密封性能，適配超高真空工藝需求，是半導(dǎo)體設(shè)備配件中維系真空環(huán)境的關(guān)鍵機(jī)械部件，廣泛應(yīng)用于蝕刻、蒸鍍等工藝設(shè)備。

精密傳動(dòng)與支撐類機(jī)械配件不可或缺。角接觸軸承、陶瓷滾子軸承等適配設(shè)備高速運(yùn)轉(zhuǎn)部件，能同時(shí)承受徑向與軸向載荷，通過低發(fā)塵設(shè)計(jì)適配潔凈環(huán)境；晶圓傳輸機(jī)械臂則實(shí)現(xiàn)晶圓在不同腔室間的平穩(wěn)轉(zhuǎn)運(yùn)，其關(guān)節(jié)結(jié)構(gòu)與運(yùn)動(dòng)精度適配規(guī)?；a(chǎn)需求，是半導(dǎo)體設(shè)備配件中傳動(dòng)類的代表性部件。

此外，結(jié)構(gòu)類機(jī)械配件包括真空腔體、靜電卡盤、噴淋頭等。真空腔體作為工藝執(zhí)行核心空間，需具備耐高溫、抗腐蝕特性；靜電卡盤用于晶圓固定，噴淋頭負(fù)責(zé)工藝氣體均勻分布，這類半導(dǎo)體設(shè)備配件雖結(jié)構(gòu)各異，但均為支撐設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)、穩(wěn)定工藝效果的基礎(chǔ)部件。